化学家，女，浙江杭州人。1949年毕业于上海大同大学化工系。上海交通大学教授。参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966－1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅 MOS&127;工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。 1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，制出具有国际水平的直径为2mm的微马达。
1980年当选为中国科学院院士（学部委员）。
