中国共产党党员，中国科学院院士，我国杰出的微电子科学家，中国科学院微电子研究所研究员，第九届、第十届全国人民代表大会常务委员会委员吴德馨同志，因病医治无效，于2026年3月23日13时15分在北京逝世，享年89岁。
吴德馨，女，汉族，1936年12月生于河北乐亭，1979年6月加入中国共产党，1961年毕业于清华大学无线电电子工程系，毕业后赴中国科学院半导体研究所工作，1986年调入中国科学院微电子中心（现中国科学院微电子研究所）工作至今，历任助理研究员、研究员、中心副主任、主任，1991年当选为中国科学院院士（学部委员）。曾任第四届中国科学院学部主席团成员。
吴德馨院士是我国半导体与集成电路研究的开拓者之一，为国家微电子事业发展做出了卓越贡献。她在国内率先研制了硅平面型高速晶体管，为“两弹一星”配套的109计算机提供核心器件。国内首次研制出4K动态随机存储器（DRAM），自主开发3微米CMOS LSI全套工艺，领导开发0.8微米CMOS全套工艺，用于专用集成电路制造。研制成功VDMOS功率器件、砷化镓异质结高速晶体管（HEMT）及GaAs PHEMT，推动化合物半导体器件的发展。实现激光器与光纤无源耦合，研制10Gbps光发射模块，产生了重要的经济和社会效益。
吴德馨院士曾获国家科技进步二等奖、中国科学院科技进步一等奖、何梁何利基金科学与技术进步奖等多项奖励和荣誉。